本站音讯，凭据企查查数据显现芯联集成（688469）新得到一项实用新式专利授权，专利名为“刻蚀竖立的恒温系统、刻蚀竖立”，专利肯求号为CN202322183364.5，授权日为2024年4月5日。

专利节录：本实用新式提供一种刻蚀竖立的恒温系统、刻蚀竖立，刻蚀竖立具有刻蚀腔室，刻蚀腔室的顶部诞生有盖体，恒温系统包括：第一冷却组件，诞生于盖体上，用于对盖体进行降温；第二冷却组件，诞生于盖体上，用于对盖体进行降温；第二冷却组件的降温功率可颐养；测温组件，诞生于盖体上，用于对盖体进行温度检测；要领组件，用于凭据测温组件的检测数据详情盖体的骨子温度，并在骨子温度不低于第一温度时发出第一要领信号，以使第一冷却组件和第二冷却组件凭据第一要领信号对盖体进行降温。本肯求使得盖体的温度不错要领在第一温度以下，幸免盖体的温渡过高，从而知足刻蚀工艺的需求。

本年以来芯联集成新得到专利授权16个，较客岁同时减少了5.88%。连络公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面进入了15.29亿元，同比增82.25%。

数据起原：企查查

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